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工業烤箱設備為什么比普通烤箱更適合半導體行業?

日期:2021-12-16【返回】

工業烤箱設備是降低柜內氧氣含量,進行加熱烘烤的干燥設備。 主要是對金屬等比較容易氧化的設備進行烘烤,使其干燥固化時的抗氧化保護。 我們知道半導體制造可以細分為前道和后道兩個工藝步驟。前一工序是加工硅材料制造晶片,通過步進曝光等多個工序將IC設計圖案加載到晶片上,制作集成電路; 后工序是將搭載集成電路的晶片分割為基本單元,經過封裝、測試完成的集成電路產品。工業烤箱設備在無氧分化真空環境下,氧分壓下降,避免了材料干燥過程中的氧化變質現象,保障了被干燥產品的質量,且具有功能齊全、烘烤效果好、使用方便、易于操作等特點,比普通烘箱更適合應用于半導體行業。

工業烤箱設備為什么比普通烤箱更適合半導體行業?

東莞鉑藝工業烤箱設備具備以下特點:

1、上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護,強制送風內循環,確保溫度均勻。

2、控制系統用PLC+人機界面配合微電腦控制溫控器,帶PID自動演算功能以保證箱體溫度均勻性為±1℃。

3、工業烤箱設備外材質為SPCC鋼板經過蘇打水清洗后粉體烤漆處理,保溫材質為高密度纖維棉,保溫效果好。

4、工業烤箱設備內材質用SUS304不銹鋼板,整個內腔用氬弧焊滿焊,防止空氣進入烘箱內,同時節省惰性氣體。

5、可以保存配方,查看溫度曲線,導出升溫數據等。

6、配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤。

7、根據使用要求,可以接受定制工業烤箱設備。


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